光刻机板块表现活跃 八大概念股盘点（名单）

12月15日，光刻机概念集体走强，艾森股份20cm涨停，南大光电、恒坤新材、彤程新材、中润光学等涨幅居前。

消息面上，据财联社报道，阿斯麦(ASML)首席执行官克里斯托夫·富凯表示，公司为High-NAEUV(高数值孔径极紫外光刻机)所设计的光刻改进方案已得到验证，成像效果极佳，分辨率非常出色。目前公司正与客户合作，以全面完善该光刻系统的成熟度。报道称，阿斯麦将与客户密切配合，确保High-NAEUV在明年内实现停机时间降至最低的稳定运行。富凯预计，High-NAEUV将在2027至2028年间实现大规模量产。

光刻机，是整合了包括光源系统、光学系统、双工件台、掩模台、自动对准、调焦调平、传输系统以及环境控制等十多个关键分系统。

从原理来看，简单来说，光刻机使用特定波长的光束，透过一块印有电路图的掩模版，再经过一组极其精密的光学镜头将图形精确缩小，最终将掩模版上的图案投射到涂有光刻胶的硅片上，完成图形转移。其原理与照相十分类似，但精细度要求较高。

据了解，在芯片制造过程中，一般需要进行20-30次光刻才能完成各层图形的传递，每一次都需要经过一整套复杂的工艺过程,包括沉积、涂胶、曝光、显影、刻蚀、离子注入、光刻胶移除等重要步骤。在芯片制造过程中，光刻是最复杂、昂贵和关键的工艺，光刻的成本约为整个制造工艺成本的1/3，耗费时间约占整个制造工艺时间的40%-60%，因此，光刻也被称为芯片制造的“心脏”。

今年6月，世界半导体贸易统计组织(WSTS)预测，2025年全球半导体市场规模将达到7009亿美元，同比增长11.2%；并预测市场到2026年将增长8.5%，达到7607亿美元。

值得注意的是，12月，WSTS发布的全球半导体市场最新预测显示，2025年全球半导体营收有望同比增长22.5%至7720亿美元，2026年将再增长26.3%，达9750亿美元。

此外，美国半导体行业协会(SIA)在11月公布的数据显示，2025年第三季度全球半导体销售额达2084亿美元，较第二季度环比增长15.8%。

与此同时，我国光刻机领域也不断迎来突破。国金证券表示，2016年上海微电子90nmArF光刻机SSA600系列实现出货。2020年华卓精科生产的光刻机双工件台，打破了ASML公司在光刻机工件台上的技术垄断。2025年，哈尔滨工业大学官宣了成功研制出13.5nm波长的极紫外光刻光源，这是光源技术上备受瞩目的一项突破。中科院上海光机所成功研发了全固态深紫外光源系统，使得中国芯片工艺推进至3纳米理论极限。

这里证券之星为大家整理了部分光刻机概念股，需要注意的是，相关概念股仅供投资者参考，不构成任何投资建议。

1、张江高科：公司通过旗下全资子公司上海张江浩成创业投资有限公司间接参股上海微电子装备(集团)股份有限公司，持股比例10.78%

2、茂莱光学：提供光学透镜、棱镜等精密光学元件，用于光刻机光学系统

3、波长光电：产品包括用于光刻机的反射镜、聚焦镜、场镜等光学元器件

4、彤程新材：旗下北京科华是KrF光刻胶国内最大供应商，ArF光刻胶已批量供货

5、炬光科技：提供光刻机用光学系统、激光器等核心元器件

6、富创精密：公司为光刻机等半导体设备提供精密机械零部件、模组产品

7、新莱应材：公司的高纯及超高纯应用材料可以满足洁净气体、特殊气体和计量精度等特殊工艺的要求，同时也可以满足泛半导体工艺过程中对真空度和洁净度的要求

8、海立股份：公司与微电子装备集团双方领导就项目合作、产品配套等内容进行深入探讨