上交所官网显示，11月14日，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称：恒运昌）科创板IPO迎来上会审核。

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得益于半导体行业发展，恒运昌报告期内业绩增长较快，今年上半年却急转直下，净利润呈现负增长，在手订单下滑。

业绩骤降 在手订单下滑

恒运昌是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务。

今年6月，恒运昌科创板IPO申请获上交所受理，五个月的时间便走到了上会阶段，IPO推进十分顺利。然而，就在恒运昌冲刺IPO不久后的半年报中，公司持续增长的业绩陡然下降。

2022年-2024年，恒运昌实现营业收入分别为1.58亿元、3.25亿元和5.41亿元，复合增长率为84.91%，其中2023年和2024年分别增长了106%和66.26%；同期归母净利润分别为2618.79万元、7982.73万元和1.42亿元，复合增长率为131.87%，其中2023年和2024年分别增长了205%和77.31%。

2025年上半年，恒运昌营业收入3.04亿元，仅微增4.06%；归母净利润6934.76万元，同比下降11.99%。到了第三季度，公司净利润进一步下滑，同比下降55.33%。截止2025年6月末，公司在手订单金额为1.07亿元，较2024年末下滑22.13%。

面对今年上半年收入增长放缓且期末在手订单金额下降的业绩表现，恒运昌表示，主要因为下游半导体设备客户的采购量需依据自身承接的晶圆厂订单数量、产品验证导入进度及交付验收节奏动态调整，进而导致对公司的采购呈现波动。

此外，恒运昌为满足客户逐步提高的技术指标要求和保持产品竞争力，继续保持较高的研发投入水平亦为导致公司业绩下滑的主要因素之一。

据了解，等离子体射频电源系统行业属于技术密集型产业，为巩固和提升市场竞争地位，恒运昌持续保持较高的研发投入。报告期内，公司各期研发投入分别为2154.21万元、3696.37万元、5528.00万元和4330.84万元，占营业收入的比例分别为13.62%、11.36%、10.22%和14.24%。

报告期各期末，恒运昌分别拥有研发人员42人、70人、152人和158人，占报告期各期末员工总数比例分别为35.90%、33.02%、41.64%和42.13%。公司研发人员总体具有较高的学历背景，81.01%为本科及以上学历。

相关技术成果需要在市场转化过程中接受严格的检验，如果恒运昌在研发过程中未能实现关键技术的突破，或相关技术无法实现产品化、商业化，则公司可能面临研发投入未取得预期效果的风险。

事实上，全球等离子体射频电源系统市场主要由MKS和AE等海外厂商垄断，根据弗若斯特沙利文统计，2024年中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足12%。目前，恒运昌与国际巨头仍有一定差距，产品尚未进入国际半导体设备厂商。

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结合在手订单，恒运昌预测2025年度营业收入同比小幅下降，主要因为下游晶圆厂扩产节奏短期变化，2024年四季度开始，中国大陆半导体设备出货量出现阶段性下降的情况，公司的主要客户向公司提货节奏出现短期波动。

相较于营业收入，恒运昌预测2025年度净利润下降幅度较大，主要系一方面2025年度公司加大研发投入，研发费用大幅增加；另一方面公司2025年度进行产能扩充，沈阳和北京子公司筹办期间发生的支出计入管理费用，导致管理费用较上年同期大幅增加。

单一客户依赖 部分大客户有所变动

恒运昌主要围绕等离子体工艺打造产品矩阵，自研产品以等离子体射频电源系统为主，引进产品主要包括真空获得和流体控制分别所需的真空泵、质量流量计等核心零部件；同时还为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修等技术服务。

2022年-2025年上半年，恒运昌等离子体射频电源系统销售收入分别为9879.50万元、2.16亿元、4.26亿元和2.33亿元，占主营业务收入的比例分别为62.47%、66.53%、78.70%和76.54%。

报告期内，恒运昌收入主要来自于半导体设备行业，公司前五大客户产生的收入占主营业务收入的比例分别为73.54%、80.39%、90.62%和89.37%。其中，公司向第一大客户拓荆科技的销售收入占比分别为45.23%、58.16%、63.13%和62.06%，公司的客户集中度较高。

需要注意的是，截至报告期期末，拓荆科技通过直接持股和全资子公司上海岩泉间接持股，合计持有恒运昌3.42%的股份。

双方的合作可以追溯到2017年，彼时双方相识于上海展会，次年恒运昌开始为拓荆科技研发射频电源及匹配器，于2020年下半年验证通过开始逐步批量交付。

随着美国政府对我国半导体产业的制裁不断升级，供应链安全问题已升级为影响国产半导体设备商生存发展的头等问题。2022年8月，拓荆科技基于保障自身供应链安全的需要，对恒运昌进行投资入股。

2023年10月，恒运昌开展第三轮融资，拓荆科技通过其投资子公司上海岩泉跟投，确保融资后持股比例不下降。

恒运昌表示，公司与拓荆科技系业务合作在先，投资入股在后，入股前后销售规模、合同主要约定均未发生较大变化，相关定价公允。拓荆科技及其子公司上海岩泉入股时均不存在关于购销、业绩等方面的特殊约定。

恒运昌还表示，公司等离子体射频电源系统相关业务获取方式主要为展会、主动接触客户、客户基于行业口碑寻求合作，公司产品通过验证后获得批量订单。对于拓荆科技和其他等离子体射频电源系统的客户的业务获取方式均为通过市场化方式，业务获取方式不存在重大差异，业务获取方式不影响独立性。

除拓荆科技外，恒运昌目前已与中微公司、微导纳米、北方华创、盛美上海等国产半导体设备龙头开展持续稳定的合作、送样验证工作。

2024年，恒运昌对中微公司、北方华创、微导纳米分别实现核心技术业务相关收入4288.56万元、2813.65万元和2306.19万元，相比2023年分别翻7倍、25倍和3倍。2025年上半年，公司对中微公司、北方华创、微导纳米分别实现核心技术业务相关收入2015.60万元、2293.46万元和1299.11万元，还成功突破多家细分领域头部客户，实现对屹唐股份、思锐智能、无锡邑文的收入。

值得一提的是，恒运昌与北方华创、中微公司开始合作时间分别为2020年和2022年，2024年两家公司都跃升成恒运昌的前五大客户，位列第四、第三大客户。与此同时，恒运昌2023年前五大客户之中的后三名，即中电科技集团、捷佳伟创、湖南玉丰真空科学技术有限公司均消失在大客户列表。

当被问及“与主要客户的合作稳定性及可持续性”时，恒运昌表示，公司客户的复购率分别为91.85%、95.15%、99.00%和98.25%，客户复购情况良好，主要因为半导体设备核心零部件相对定制化及长周期验证的特性，导致客户替换成本较高，该情况亦为未来采购需求提供有效支撑。

全文参考资料：新民周刊、公司招股书及回复函公开数据等